鉭金屬是一種理想的醫(yī)用金屬材料,能夠與人體軟硬組織發(fā)生整合。項(xiàng)目利用化學(xué)氣相沉積(CVD)方法,在現(xiàn)有醫(yī)用金屬器件表面獲得鉭金屬涂層,大大提升材料的生物學(xué)性能,同時降低成本,適用于目前廣泛應(yīng)用的鈦合金、不銹鋼等醫(yī)用金屬材料,如血管支架、骨替代材料等。
技術(shù)特點(diǎn)
CVD方法可在復(fù)雜器件表面沉積涂層,涂層生成溫度低,涂層質(zhì)量高,厚度均勻。具體技術(shù)指標(biāo)如下:
?涂層厚度50微米
?結(jié)合強(qiáng)度50Mpa?(劃痕法)?
?沉積溫度(900-1000℃)、原料蒸發(fā)溫度(150-300℃)、氫氣流量(50-200SCCM)、工作氣壓(5×102-5×10-2Pa)